C19 UNIVEX实验室镀膜机

    UNIVEX为莱宝真空生产的专门用于实验室研发和小批量生产的小型镀膜机，它可以满足客户的不同需求，并可根据用户的具体要求特殊设计。

UNIVEX有多种形式或附件可供选择：
     1、外形：钟罩式或箱式。
     2、大小：内径300mm、450mm或490mm。
     3、源的数量：单个或多个。
     4、蒸发方式：电加热；电子束蒸发；直流和射频溅射；和离子辅助沉积。
     5、基片旋转：普通电机驱动；步进电机驱动；行星旋转。
     6、基片处理：基片加热；基片冷却；基片射频偏压；基片温度控制。
     7、膜系：单层；多层；多种材料同时沉积。
     8、膜厚：膜厚测量仪；膜厚控制仪。
     9、辉光清洗；挡板。
    10、高真空泵：分子泵或低温泵。
    11、前级真空泵：有油泵或无油泵。
    12、控制方式：手动；半自动；全自动。
    13、预真空室。