欧瑞康莱宝真空设备（天津）有限公司---C03 活塞式和涡旋式干

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C03 活塞式和涡旋式干泵

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C03 活塞式和涡旋式干泵

ECODRY M 系列活塞式干泵
    Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说，结构简单，价合理，因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
    Ecodry活塞式干泵的主要技术参数：
    抽速：14m³/h～30m³/h
    极限真空度：5.5×10^-2mbar
    排水蒸气能力：25mbar(最大)
    Ecodrg活塞式干泵的主要特点：
    1、结构简单，易于操作和维护；
    2、工作过程中不产生粉尘；
    3、耐粉尘，排水蒸气能力强；
    4、低能耗，坚固耐用，可靠性高；
    5、可以选配变频器增大抽速；
    典型应用：质谱仪，电子显微镜，照明，镀膜，loadlock，无油高真空前级泵等。

SC涡旋式真空泵
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速，对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求，欧瑞康莱宝推出了SC系列涡旋式真空泵。

1、SC系列真空泵特点：
    ·可以提供抽速为5,15和30m³/h的3款产品SC5/15/30D；
    ·高极限真空，最低可达0.01mbar；
    ·低噪声；
    ·低振动；
    ·允许进气压力大；
    ·重量轻；
    ·能耗低；
    2、应用范围：
    ·电子束焊接；
    ·激光；
    ·检漏系统；
    ·加速器/同步加速器；
    ·表面分析仪；
    ·STM’s；
    ·ELMI；
    ·小型涡轮泵组；
    ·搬送室；